Износостойкие покрытия
Магнетронный метод
Магнетронный метод представляет собой разновидность метода катодного распыления, при котором у поверхности распыляемого катода (мишени) при помощи скрещенных магнитного и электрического полей формируется слой плазмы, плотность которой на порядки больше, чем в обычных (безмагнитных) системах катодного распыления. Следовательно, значительно возрастают плотность ионного тока на катод и скорость ионного распыления. Для получения соединений к инертному газу добавляют соответствующие реакционные газы (азот, метан, ацетилен …).
Магнетронный метод позволяет наносить широкий спектр покрытий из разнообразных металлов и их соединений с высокой равномерностью свойств, в том числе высокотвёрдые износостойкие покрытия. Распылённые частицы представляют собой на 75- 95 % нейтральные атомы, поэтому подложка (деталь, образец, инструмент….) слабо нагревается, что позволяет осаждать покрытия на детали, имеющие низкую температуру плавления (легкоплавкие металлы и сплавы, пластмассы, органические вещества)
Магнетронное покрытие
Напряжение разряда 500 – 800 В, ток разряда –от десятых долей до десятков и сотен ампер.