Оборудование
NanoARCmaster
Промышленная установка NanoARCmaster предназначена для ионного нанесения однослойных, многослойных, нанослойных и нанокомпозитных защитных и триботехнических покрытий на детали машин и режущий инструмент методом ионного осаждения с дуговым испарением. Для каждого типа инструментов и деталей рекомендованы определенные типы покрытий, запрограммированы стандартные режимы их нанесения.
В стандартный состав оборудования входит: система высоковакуумной откачки с турбомолекулярным насосом, планарные мультикатодные дуговые испарители с магнитной стабилизацией дуги, ионные источники для активации поверхности, резистивные нагреватели, стол с планетарным вращением установочных осей и системой смещения с устройством дугогашения.. Управление установкой полностью автоматизировано и имеет возможность контроля параметров по каналам внутрицеховых коммуникаций и интернета.
Благодаря уникальной магнитной системе планарного дугового испарителя, относительное содержание и размеры капельной фазы в покрытиях минимальны, что позволяет получать равномерные по составу и толщине покрытия с высокими рабочими характеристиками. Покрытия имеют шероховатость поверхности не хуже Ra 0,04.
Магнетронная модификация оборудования позволяет наносить как однокомпонентные, так и многокомпонентные составы, в частности припои, подложки для пайки, заменять гальванические, а так же наносить жаростойкие покрытия.
Основные узлы и характеристики системы
- Планарные дуговые испарители с магнитной стабилизацией дуги и / или магнетронные распылительные системы
- Ионный источник для предварительной очистки и активации поверхности деталей
- Резистивный нагреватель для мягкого нагрева изделий
-Планетарный механизм для размещения изделий внутри вакуумной камеры обеспечивает равномерное нанесение покрытия по всей поверхности образца.
- Трехканальная система газонапуска
- Двухступенчатая система откачки:
форвакуумным пластинчато-роторным насосом и высоковакуумным турбо-молекулярным насосом, предельный вакуум не хуже 10-4 Па
- Управление вакуумной системой и процессом автоматическое:
Программное обеспечение «Плазмаком» позволяет воспроизводить ряд стандартных режимов напыления для получения разных по составу и свойствам покрытий, имеется возможность создания и программирования собственных режимов напыления.
- Визуализация процесса – ЖК монитор 17” .
- Запись параметров и режимов в память компьютера и на цифровые и магнитные носители.
- Рабочий объем вакуумной камеры 0,6 м3